반도체 제조는 세계에서 가장 까다로운 산업 환경 중 하나입니다. 웨이퍼 제조, 리소그래피, 검사, 패키징 및 테스트에 이르기까지 모든 공정에서 정밀한 온도 제어는 공정 안정성을 유지하는 핵심 요소입니다. 아주 작은 온도 변화만으로도 생산 수율(Yield), 장비 성능 및 제품 품질에 영향을 미칠 수 있습니다. 반도체 제조 시설이 생산량을 지속적으로 확대하고 공정이 더욱 복잡해짐에 따라, 엔지니어들은 유지보수 부담은 최소화하면서도 공정 신뢰성을 높일 수 있는 냉각 솔루션을 끊임없이 검토하고 있습니다. 이러한 국소 냉각(Spot Cooling) 분야에서 최근 주목받고 있는 기술 중 하나가 바로 볼텍스 튜브(Vortex Tube) 입니다. 볼텍스 튜브란? 볼텍스 튜브(Vortex Tube) 는 압축공기를 이용하여 전기, 냉매 또는 구동 부품 없이 하나의 공기 흐름을 고온 공기와 저온 공기의 두 개의 공기 흐름으로 분리하는 소형 냉각 장치입니다. EXAI

EXAIR 블로그의 정기 독자라면 볼텍스 튜브 에서 차가운(또는 뜨거운) 공기를 얻을 수 있다는 것을 알고 있을 것입니다. 또한 유량을 늘리거나 줄이는 방법과 온도를 높이거나 낮추는 방법이 있다는 것도 알고 계실 겁니다. 오늘은 볼텍스 튜브...